1. 2023年中国某公司用于芯片散热的复合导热材料专利公布。其中一个技术方案以铁磁性颗粒材料作为导热填料；另一个技术方案则以金刚石颗粒材料为主要散热材料。两个技术方案经实验验证，较传统硅脂等界面导热材料的导热性能有大幅提升。

1. （1） 请用化学用语填空：

   ①硅元素。

   ②铁离子。

   ③5个碳原子。

3. （2） 工业上用石英砂(主要成分为SiO₂)制取高纯硅的一种方法如图所示。

   

   ①反应前将石英砂粉碎的目的是。

   ②反应Ⅰ的化学方程式是。

   ③A、B、C三种气体中，在上述生产过程中可循环利用的是(填化学式)。