1. 氮化硅硬度大、熔点高、不溶于酸(氢氟酸除外)，是一种重要的结构陶瓷材料。一种用工业硅(含少量钾、钠、铁、铜的氧化物)，已知硅的熔点是1420℃，高温下氧气及水蒸气能明显腐蚀氮化硅。一种合成氮化硅的工艺流程如下：

 

注：原料中的N₂是采用空气分离法制备。

1. （1） 净化N₂和H₂时，铜屑的作用是；硅胶的作用是。
3. （2） 氮化炉中发生反应：3SiO₂(s)+2N₂(g)=Si₃N₄(s)，同时会剧烈放热，反应时要严格控制氮气的流速以控制，原因是。
5. （3） X可能是(选填：“盐酸”、“硝酸”、“硫酸”、“氢氟酸”)。
7. （4） 如何说明氮化硅产品已用水洗干净？。
9. （5） 用硅粉作硅源、叠氮化钠(NaN₃)作氮源，直接燃烧生成氮化硅(发生置换反应)，该反应的化学方程式为：。